行星齿轮传动装置总重量，一般情况下与齿轮的重量成正比，而齿轮的重量与其材料和热处理硬度又有很强的关联。例如，在相同功率下，渗碳淬火齿轮的重量将是调质齿轮重量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特性和齿轮的载荷性质，应该广泛采用硬齿面齿轮。

 众所周知，行星减速机获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，如表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，这些方法根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。下面简单分析一下行星减速机内部齿轮的热处理方法。

1、表面淬火
常见的表面淬火方法有高频淬火和火焰淬火两种，对小尺寸齿轮采用前者，对大尺寸齿轮采用后者。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，效果好。表面淬火齿面硬度可达洛氏硬度45~55。
2、渗碳(C)淬火
结果渗碳淬火后的齿轮具有相对较大的承载能力，但必须采用精加工工序(磨齿)来消除热处理变形，以保证精度（精确度）。
渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC。滚珠丝杆升降机行星减速机的特点是体积小，输出扭矩大，传动效率高，只要有这些要求的地方都可以用。若低于57HRC时，齿面强度显著下降，高于62HRC时则脆性会增加。齿轮心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火后的齿轮硬度，有效渗碳深度规定为表面至硬度52.5HRC处的深度。
渗碳(C)淬火除了使齿轮心部硬度有所提高外，还可使齿轮 大拉应力区的应力减小。因此磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时要用留磨量以便滚刀。
3、渗氮
渗氮可保证齿轮在变形很小的条件下达到很高的齿面硬度和耐磨耗性，热处理后不再进行后的精加工，提高齿轮承载能力
4、啮合齿轮的硬度组合
当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。